感應耦合式蝕刻機ICPRIE System for III | 全台合法動物醫院
名稱：感應耦合式蝕刻機ICP/RIESystemforIII-VCompoundSemiconductorDeviceFabrication(ICP/RIE)用途：ICP之蝕刻種類為III-V族材料廠牌與型號：O...
名稱： 感應耦合式蝕刻機ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication (ICP/RIE)
用途： ICP之蝕刻種類為III-V族材料
廠牌與型號：OXFORD (Plasmalab system100)
重要規格：氣體使用Ar，O2，CH4，H2，Cl2，N2
注意事項：
MASK材料可為介電材料:SiO2,SiNx和金屬:鉻,鎳,鈦
嚴格禁止有機光阻,光阻,真空膠,蠟進入腔體
管理者 ：邱逸仁 / 翁枕榆
放置位置： 工EC4016
連絡電話或分機： 4472
開放時間：
星期一至星期五10:00-22:00
收費標準：
使用費：本系918元/次，本校外系3024元/次，外校3429元/次
服務費：本系500元/次，本校外系500元/次，外校500元/次
不開放自行使用
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儀器設備 | 全台合法動物醫院
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貴重儀器資料 | 全台合法動物醫院
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感應耦合式蝕刻機ICPRIE System for III | 全台合法動物醫院
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